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专利、报告等 High-Brightness Laser-Assisted Discharge-Produced Plasma EUV Source for Mask Inspection and Exposure Applications
网址
https://doi.org/10.1117/3.2638242.ch9
DOI
10.1117/3.2638242.ch9 doi
其它 章节作者：Yusuke Teramoto
章节题名：High-Brightness Laser-Assisted Discharge-Produced Plasma EUV Source for Mask Inspection and Exposure Applications
所在书籍：Photon Sources for Lithography and Metrology
主编：Vivek Bakshi
出版社：SPIE Press
出版年份：2023
章节：Chapter 9
页码：349–380（书内印刷页码）
章节 DOI：10.1117/3.2638242.ch9
纸质版 ISBN：9781510653719
电子版 ISBN：9781510653726
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小巧静竹 在 2026-10-23 00:55:29 发布自上海，悬赏 20 积分
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