标题 |
Electron power absorption dynamics in magnetized capacitively coupled radio frequency oxygen discharges
磁化电容耦合射频氧放电中的电子功率吸收动力学
相关领域
原子物理学
电负性
电子
离子
电子密度
分析化学(期刊)
化学
材料科学
物理
色谱法
量子力学
有机化学
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其它 |
期刊:Plasma Sources Science and Technology 作者:Li Wang; De‐Qi Wen; P. Hartmann; Zoltán Donkó; Aranka Derzsi; et al 出版日期:2020-10-01 |
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