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标题
Synergetic effect of gas compositions on material properties of n‐type nanocrystalline silicon oxide prepared by plasma enhanced chemical vapor deposition
气体组分对等离子体增强化学气相沉积制备n型纳米氧化硅材料性能的协同效应
相关领域
纳米晶材料 材料科学 化学气相沉积 等离子体增强化学气相沉积 氧化硅 等离子体 沉积（地质） 化学工程 硅 氧化物 纳米晶硅 纳米技术 晶体硅 冶金 氮化硅 地质学 工程类 古生物学 沉积物 物理 非晶硅 量子力学
网址
https://doi.org/10.1002/solr.202400095
DOI
10.1002/solr.202400095 doi
其它 期刊：Solar RRL
作者：Daohong Qiu; Weiyuan Duan; Andreas Lambertz; Karsten Bittkau; Uwe Rau; et al
出版日期：2024-03-13
求助人
Richard 在 2024-04-01 09:47:48 发布自浙江，悬赏 10 积分
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