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Roughness study on line and space patterning with chemo-epitaxy directed self-assembly
化学外延定向自组装线和空间图案化的粗糙度研究
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期刊: 作者:Hyo Seon Suh; Viktor Dudash; Gian Lorusso; Chris A. Mack 出版日期:2020-03-23 |
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