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 Study of effects of varying parameters on the dislocation density in 200 mm SiC bulk growth 200 mm SiC块体生长中位错密度变化参数的研究
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期刊：Journal of Crystal Growth 作者：Sheng’ ou Lu; Bingbing Xu; Hongyu Chen; Wei Hang; Rong Wang; et al 出版日期：2024-02-01 |
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