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 Role of reactive gas on the structure and properties of titanium nitride films grown by plasma enhanced atomic layer deposition 反应气体对等离子体增强原子层沉积生长的钛氮薄膜结构和性能的影响
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期刊：Journal of Vacuum Science & Technology A Vacuum Surfaces and Films 作者：Igor Krylov; Xianbin Xu; Ekaterina Zoubenko; Kamira Weinfeld; Santiago Boyeras; et al 出版日期：2018-11-01 |
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