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Deposition of high crystallinity poly-Si films on glass substrate and fabrication of high mobility bottom-gate TFT
玻璃衬底上高结晶度多晶硅薄膜的沉积及高迁移率底栅TFT的制备
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期刊:Journal of non-crystalline solids 作者:J.W. Lee; Ken D. Shimizu; Jun‐ichi Hanna 出版日期:2004-06-01 |
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