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 Low-temperature direct bonding of SiC and Ga2O3 substrates under atmospheric conditions 大气条件下低温直接键合SiC和Ga2 O3基片
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期刊：Journal of Applied Physics 作者：Takashi Matsumae; Yuichi Kurashima; Hideki Takagi; Hitoshi Umezawa; Eiji Higurashi 出版日期：2021-08-25 |
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