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 Enhanced polarization switching and reliability in BEOL-compatible HZO/ZrO2/HZO stack under low-voltage operation BEOL兼容的HZO/ZrO2/HZO堆叠在低压操作下增强的极化切换和可靠性
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期刊：Applied Physics Letters 作者：Yinchi Liu; Hongqiang Zhu; Xun Lu; Shiyu Li; Hao Zhang; et al 出版日期：2025-08-11 |
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