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标题
High aspect ratio silicon ring-shape micropillars fabricated by deep reactive ion etching with sacrificial structures
牺牲结构深反应离子刻蚀制备高纵横比硅环形微柱
相关领域
材料科学 蚀刻（微加工） 纵横比（航空） 深反应离子刻蚀 反应离子刻蚀 制作 支柱 硅 光电子学 戒指（化学） 纳米技术 图层（电子） 复合材料 结构工程 化学 工程类 医学 替代医学 有机化学 病理
网址
https://doi.org/10.1016/j.mne.2023.100234
AI链接 doi.orgdoi.org
DOI
10.1016/j.mne.2023.100234 doi
其它 期刊：Micro and Nano Engineering
作者：Wenhan Hu; Zihao Wang; Aixi Pan; Bo Cui
出版日期：2023-12-11
求助人
多啦爱梦 在 2025-08-30 20:23:10 发布，悬赏 10 积分
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