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标题
Method for Obtaining Atomically Smooth Substrates from Single-Crystal Silicon by Mechanical Lapping
通过机械研磨从单晶硅获得原子级光滑衬底的方法
相关领域
研磨 材料科学 硅 光电子学 Crystal（编程语言） 单晶 纳米技术 复合材料 结晶学 计算机科学 化学 程序设计语言
网址
https://doi.org/10.1134/s1063784224030046
DOI
10.1134/s1063784224030046 doi
其它 期刊：Technical Physics
作者：Н. И. Чхало; А. А. Akhsakhalyan; М. V. Zorina; М. Н. Торопов; Yu. M. Tokunov
出版日期：2024-04-01
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One 在 2025-08-29 20:09:43 发布，悬赏 10 积分
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