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Method for Obtaining Atomically Smooth Substrates from Single-Crystal Silicon by Mechanical Lapping

研磨材料科学硅光电子学 Crystal（编程语言）单晶纳米技术复合材料结晶学计算机科学化学程序设计语言

作者

Н. И. Чхало,А. А. Akhsakhalyan,М. V. Zorina,М. Н. Торопов,Yu. M. Tokunov

出处

期刊：Technical Physics [Pleiades Publishing]
日期：2024-04-01 卷期号：69 (4): 812-817

标识

DOI：10.1134/s1063784224030046

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