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标题
紫外光刻-湿法刻蚀硅中阶梯光栅的研制
相关领域
材料科学
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DOI
10.3788/aos230446 doi
其它 期刊:Acta Optica Sinica
作者:杨子江 Yang Zijiang; 潘俏 Pan Qiao; 朱嘉诚 Zhu Jiacheng; 沈为民 Shen Weimin
出版日期:2023-01-01
求助人
punctuation 在 2025-08-28 21:05:52 发布自河南,悬赏 10 积分
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