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 In Situ Dielectric Al2O3/β‐Ga2O3 Interfaces Grown Using Metal–Organic Chemical Vapor Deposition 相关领域
材料科学
金属有机气相外延
电介质
分析化学（期刊）
化学气相沉积
原子层沉积
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薄膜
光电子学
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图层（电子）
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纳米技术
化学
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物理
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期刊：Advanced Electronic Materials 作者：Saurav Roy; Adrian E. Chmielewski; Arkka Bhattacharyya; Praneeth Ranga; Rujun Sun; et al 出版日期：2021-08-28 |
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