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专利、报告等 用于检测三乙胺且涂覆有气敏材料的MEMS气体传感器
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用于检测三乙胺且涂覆有气敏材料的MEMS气体传感器 摘要：本发明公开了用于检测三乙胺且涂覆有气敏材料的MEMS气体传感器，包括：以大比表面积二维MXene为基底，以ZnIn2S4为敏感材料主体，制备获得MXene@ZnIn2S4复合气敏材料。该纳米复合气敏材料是采用水热法在MXene表面自组装ZnIn2S4纳米片获得的。将所得MXene@ZnIn2S4纳米复合材料与无水乙醇混合搅拌成悬浊液，使用毛细管通过特制微悬臂梁点样平台的显微装置均匀滴定在微悬臂梁传感器的样品池上，干燥后可以制备出用于室温检测三乙胺的质量型MEMS气体传感器元件。根据本发明，MEMS气体传感器在三乙胺气体检测方面具有抗湿度干扰能力强、灵敏度高、对干扰气体选择性好、稳定性好、可室温检测等特点，可用于海产品及农业领域等三乙胺气体的痕量检测。 专利类型：发明专利 申请/专利号： CN202410605936.0 |
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