Oxygen vacancy concentration as a function of cycling and polarization state in TiN/Hf0.5Zr0.5O2/TiN ferroelectric capacitors studied by x-ray photoemission electron microscopy

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标题	Oxygen vacancy concentration as a function of cycling and polarization state in TiN/Hf0.5Zr0.5O2/TiN ferroelectric capacitors studied by x-ray photoemission electron microscopy
网址	https://pubs.aip.org/aip/apl/article-pdf/doi/10.1063/5.00931...
DOI	10.1063/5.0093125 doi
其它	期刊：Applied Physics Letters 作者：Wassim Hamouda; Furqan Mehmood; Thomas Mikolajick; Uwe Schroeder; Tevfik Onur Mentes; et al 出版日期：2022-05-17
求助人	kk 在 2026-05-14 14:57:54 发布自河南，悬赏 10 积分
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