Design of high-efficiency and broadband SiN-on-SOI grating couplers based on CUMEC’s process platform

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标题	Design of high-efficiency and broadband SiN-on-SOI grating couplers based on CUMEC’s process platform
网址	http://dx.doi.org/10.1117/12.3046706
DOI	10.1117/12.3046706 doi
求助人	动听咖啡豆在 2026-08-26 17:42:21 发布自湖北，悬赏 20 积分
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