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Wet Chemical Etching of Alignment V‐Grooves in (100) InP through Titanium or In0.53Ga0.47As Masks
网址
http://dx.doi.org/10.1149/1.2054968
DOI
10.1149/1.2054968 doi
其它 期刊：Journal of The Electrochemical Society
作者：R. Klockenbrink; E. Peiner; H. ‐H. Wehmann; A. Schlachetzki
出版日期：1994-06-01
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雪豹 在 2026-09-04 10:15:39 发布自江苏，悬赏 10 积分
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