Femtosecond laser two-beam interference applied to 4H-SiC surface hierarchical micro-nano structure fabrication

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标题	Femtosecond laser two-beam interference applied to 4H-SiC surface hierarchical micro-nano structure fabrication
网址	https://doi.org/10.1016/j.optlastec.2022.108081
DOI	10.1016/j.optlastec.2022.108081 doi
其它	期刊：Optics and Laser Technology 作者：Yi-Hsien Liu; Kong-Kai Kuo; Chung‐Wei Cheng; An‐Chen Lee 出版日期：2022-03-19
求助人	otto12306 在 2026-09-03 10:39:33 发布自河北，悬赏 10 积分
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