| 标题 |
A method for inspecting double-sided high-sloped structured surfaces based on dual-probe wavelength scanning interferometer
一种基于双探头波长扫描干涉仪的双面高斜率结构表面检测方法
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期刊： 作者：Tao Zhang; Feng Gao; Xiangqian Jiang 出版日期：2017-09-25 |
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