Silicon-content-dependent microstructures and mechanical behavior of (AlCrTiZrMo)-Six-N high-entropy alloy nitride films

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标题	Silicon-content-dependent microstructures and mechanical behavior of (AlCrTiZrMo)-Six-N high-entropy alloy nitride films （AlCrTiZrMo）-Six-N高熵氮化合金薄膜的硅含量相关微观结构和力学行为相关领域材料科学纳米压痕硅电子探针微观结构无定形固体高分辨率透射电子显微镜溅射沉积复合材料透射电子显微镜纳米晶硅氮化硅结晶学溅射非晶硅晶体硅薄膜冶金纳米技术化学
网址	https://doi.org/10.1016/j.matdes.2021.109553
DOI	10.1016/j.matdes.2021.109553 doi
其它	期刊：Materials & Design 作者：Wangcheng Yu; Wei Li; Ping Liu; Ke Zhang; Fengcang Ma; et al 出版日期：2021-02-06
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