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 Etching Characteristics of Si(100) Surfaces in an Aqueous NaOH Solution NaOH水溶液中Si（100）表面的刻蚀特性
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期刊：Journal of The Electrochemical Society 作者：Kaoru Sakaino; Yuji Kawabata; Sadao Adachiz 出版日期：2000-01-01 |
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