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标题
Detection of particle defect components on silicon wafer with laser induced breakdown spectroscopy combined laser cleaning technology
激光诱导击穿光谱结合激光清洗技术检测硅片上颗粒缺陷成分
相关领域
薄脆饼 材料科学 激光器 硅 光电子学 混合硅激光器 光学 激光诱导击穿光谱 光谱学 量子力学 物理
网址
https://doi.org/10.1117/12.2511169
DOI
10.1117/12.2511169 doi
其它 期刊：
作者：Lituo Liu; Xiaoya Yu; Weihu Zhou; Xiaomei Chen; Rongyi Ji; et al
出版日期：2019-03-26
求助人
zhxhh 在 2025-05-21 09:19:18 发布自吉林，悬赏 20 积分
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