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Structure and properties of TiBx coatings deposited via magnetron sputtering with ion source etching 离子源刻蚀磁控溅射TiBx涂层的结构与性能
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期刊:Ceramics International 作者:Yunpeng Liang; Fan Liu; Qimin Wang; Wei Dai 出版日期:2021-02-21 |
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