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标题
Structure and properties of TiBx coatings deposited via magnetron sputtering with ion source etching
离子源刻蚀磁控溅射TiBx涂层的结构与性能
相关领域
材料科学 涂层 纳米压痕 溅射 溅射沉积 X射线光电子能谱 复合材料 扫描电子显微镜 蚀刻（微加工） 冶金 薄膜 化学工程 纳米技术 图层（电子） 工程类
网址
https://doi.org/10.1016/j.ceramint.2021.02.175
DOI
10.1016/j.ceramint.2021.02.175 doi
其它 期刊：Ceramics International
作者：Yunpeng Liang; Fan Liu; Qimin Wang; Wei Dai
出版日期：2021-02-21
求助人
栗子 在 2025-07-10 18:53:16 发布，悬赏 10 积分
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