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 The physics of plasma-enhanced chemical vapour deposition for large-area coating: industrial application to flat panel displays and solar cells 等离子体增强化学气相沉积大面积涂层的物理学：平板显示器和太阳能电池的工业应用
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期刊：Plasma Physics and Controlled Fusion 作者：J. Perrin; Jacques Schmitt; Christoph Hollenstein; A.A. Howling; L. Sansonnens 出版日期：2000-12-01 |
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