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标题
Piezoelectric thin films and their applications in MEMS: A review
压电薄膜及其在微机电系统中的应用
相关领域
微电子机械系统 小型化 压电 材料科学 纳米制造 功率消耗 薄膜 纳米技术 功率（物理） 复合材料 物理 量子力学
网址
https://doi.org/10.1063/5.0244749
DOI
10.1063/5.0244749 doi
其它 期刊：Journal of Applied Physics
作者：Jinpeng Liu; Hua Tan; Xinyi Zhou; Weigang Ma; Chuanmin Wang; et al
出版日期：2025-01-13
求助人
taotao 在 2025-04-01 21:48:03 发布自上海，悬赏 10 积分
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