Effect of Si substrate conductivity on surface acoustic wave resonator

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标题	[高分] Effect of Si substrate conductivity on surface acoustic wave resonator
网址	https://doi.org/10.1166/mex.2024.2720
DOI	10.1166/mex.2024.2720 doi
其它	期刊：Materials Express 作者：Dahao Wu; Yao Shuai; Zijie Wei; Wei Fan; Peiran Li; et al 出版日期：2024
求助人	车车在 2026-03-04 15:01:50 发布自陕西，悬赏 150 积分
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