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 Alkenyl/Thiol Co-Functionalized Titanium-Oxo Nanoclusters Enable Synergistic Lithography for Enhanced Resolution and Sensitivity 相关领域
纳米团簇
材料科学
平版印刷术
纳米技术
表面改性
星团（航天器）
电子束光刻
氧化物
下一代光刻
干涉光刻
反应性（心理学）
光刻
X射线光刻
钛
浸没式光刻
金属
纳米光刻
抵抗
氧化钛
分辨率（逻辑）
聚合
表征（材料科学）
直接成像
等离子体子
氧化硅
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| 其它 |
期刊：ACS Nano 作者：Zuohu Zhou; Zeqi Yu; Zhen Ni; Fangfang Liu; Jian Wei; et al 出版日期：2025-10-07 |
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