Zirconium aluminum nitride thin films for temperature sensing applications

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标题	Zirconium aluminum nitride thin films for temperature sensing applications 相关领域材料科学锆氮化锆氮化物薄膜铝冶金纳米技术氮化钛图层（电子）
网址	https://doi.org/10.1016/j.jallcom.2025.178546
DOI	10.1016/j.jallcom.2025.178546 doi
其它	期刊：Journal of Alloys and Compounds 作者：Bruno Martins; Carlos Patacas; A. Cavaleiro; Pedro Faia; C.F. Almeida Alves; et al 出版日期：2025-01-01
求助人	holly 在 2026-01-12 18:44:02 发布自上海，悬赏 10 积分
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