| 标题 |
 From lab to fab: in-line SIMS for process control in nanosheet gate-all-around device manufacturing 从实验室到晶圆厂：用于纳米片栅极工艺控制的在线SIM——全能器件制造
相关领域
薄脆饼
材料科学
光电子学
毯子
二次离子质谱法
外延
纳米技术
计量学
晶体管
电子工程
图层（电子）
电气工程
工程类
化学
离子
光学
复合材料
电压
有机化学
物理
|
| 网址 | |
| DOI | |
| 其它 |
期刊： 作者：Stefan Schoeche; K. Sieg; Daniel Schmidt; Mohsen Nasseri; Shogo Mochizuki; et al 出版日期：2024-04-10 |
| 求助人 | |
| 下载 | 该求助完结已超 24 小时，文件已从服务器自动删除，无法下载。 |
|
温馨提示：该文献已被科研通 学术中心 收录，前往查看
科研通『学术中心』是文献索引库，收集文献的基本信息（如标题、摘要、期刊、作者、被引量等），不提供下载功能。如需下载文献全文，请通过文献求助获取。
|
PDF的下载单位、IP信息已删除
(2025-6-4)
Nole
秋风
DW
无极微光
Enigma_GEB
嘉心糖
cdercder
xing_xing
aajhajkahna
Criminology34
coolru
七听
牧青
乐空思
程超智慧
老的火龙果
谢雷XIELei
拆迁办禁言
贪玩的秋柔
OK
皖公网安备34019202002308
