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标题
Geometrical positioning surveying-based features for BEOL line-end-pull-back modeling using regression-based machine-learning
基于回归的机器学习的BEOL线端回拉建模的几何定位测量特征
相关领域
生产线后端 像素 计算机科学 人工智能 光学接近校正 直线（几何图形） 全球定位系统 特征（语言学） 算法 过程（计算） 模拟 计算机视觉 模式识别（心理学） 数学 几何学 互连 哲学 操作系统 语言学 电信 计算机网络
网址
http://dx.doi.org/10.1117/1.jmm.22.2.023401
AI链接 spiedigitallibrary.orgdoi.org
DOI
10.1117/1.jmm.22.2.023401 doi
其它 期刊：Journal of Micro/Nanopatterning Materials and Metrology
作者：Ahmed Hamed Fatehy; Hazem Hegazy; Omar El-Sewefy; Mohamed Dessouky; Ashraf Salem
出版日期：2023-06-29
求助人
郭大王 在 2025-12-31 13:31:22 发布自安徽，悬赏 20 积分
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