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标题
Effect of plasma discharge pulse length for GaN film crystallinity on sapphire substrate by high density convergent plasma sputtering device
等离子体放电脉冲长度对蓝宝石衬底上GaN薄膜结晶度的影响
相关领域
材料科学 等离子体 蓝宝石 结晶度 溅射 光电子学 基质（水族馆） 溅射沉积 光学 薄膜 纳米技术 复合材料 激光器 物理 量子力学 海洋学 地质学
网址
https://doi.org/10.1116/6.0003743
DOI
10.1116/6.0003743 doi
其它 期刊：Journal of Vacuum Science & Technology A Vacuum Surfaces and Films
作者：Itsuki Misono; Taisei Motomura; Tatsuo Tabaru; Masato Uehara; Tetsuya Okuyama
出版日期：2024-07-25
求助人
潇洒的荷花 在 2025-12-05 22:01:50 发布自四川，悬赏 10 积分
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