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 Growth of SiC, AlN, and GaN Films on Silicon Parts of Arbitrary Geometry for Microelectromechanical Applications 微机电应用中任意几何形状的硅部件上SiC、AlN和GaN薄膜的生长
相关领域
材料科学
微电子机械系统
光电子学
硅
碳化硅
几何学
复合材料
数学
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期刊：Technical Physics Letters 作者：T. T. Kondratenko; А. С. Гращенко; А. В. Осипов; A. V. Redkov; Е. В. Убыйвовк; et al 出版日期：2023-12-01 |
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