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标题
Effect of electron energy distribution function on power deposition and plasma density in an inductively coupled discharge at very low pressures
极低压电感耦合放电中电子能量分布函数对功率沉积和等离子体密度的影响
相关领域
等离子体 原子物理学 托尔 电场 感应耦合等离子体 沉积（地质） 亚稳态 电子 等离子体参数 材料科学 化学 物理 核物理学 生物 古生物学 量子力学 热力学 沉积物 有机化学
网址
https://doi.org/10.1088/0963-0252/12/3/302
AI链接 arxiv.org arxiv.orgdoi.org
DOI
10.1088/0963-0252/12/3/302 doi
其它 期刊：Plasma Sources Science and Technology
作者：Badri Ramamurthi; Demetre J. Economou; Igor Kaganovich
出版日期：2003-05-09
求助人
刘佳琦19947 在 2025-12-25 10:42:29 发布自中国，悬赏 10 积分
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