| 标题 |
 Effect of electron energy distribution function on power deposition and plasma density in an inductively coupled discharge at very low pressures 极低压电感耦合放电中电子能量分布函数对功率沉积和等离子体密度的影响
相关领域
等离子体
原子物理学
托尔
电场
感应耦合等离子体
沉积（地质）
亚稳态
电子
等离子体参数
材料科学
化学
物理
核物理学
生物
古生物学
量子力学
热力学
沉积物
有机化学
|
| 网址 | |
| DOI | |
| 其它 |
期刊：Plasma Sources Science and Technology 作者：Badri Ramamurthi; Demetre J. Economou; Igor Kaganovich 出版日期：2003-05-09 |
| 求助人 | |
| 下载 | |
|
温馨提示：该文献已被科研通 学术中心 收录，前往查看
科研通『学术中心』是文献索引库，收集文献的基本信息（如标题、摘要、期刊、作者、被引量等），不提供下载功能。如需下载文献全文，请通过文献求助获取。
|
PDF的下载单位、IP信息已删除
(2025-6-4)
Kao
X的三次方
cdercder
zhangchi
清爽老九
FIN
Nole
GingerF
压寨猫夫人
馆长
DW
YifanWang
渡人舟
skearthy
DearG
aajhajkahna
OK
yeruotong
初景
sissiarno
皖公网安备34019202002308
