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 Effect of electron energy distribution function on power deposition and plasma density in an inductively coupled discharge at very low pressures 极低压电感耦合放电中电子能量分布函数对功率沉积和等离子体密度的影响
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期刊：Plasma Sources Science and Technology 作者：Badri Ramamurthi; Demetre J. Economou; Igor Kaganovich 出版日期：2003-05-09 |
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