Structure of low dielectric constant to extreme low dielectric constant SiCOH films: Fourier transform infrared spectroscopy characterization

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标题	Structure of low dielectric constant to extreme low dielectric constant SiCOH films: Fourier transform infrared spectroscopy characterization 相关领域等离子体增强化学气相沉积化学气相沉积电介质傅里叶变换红外光谱红外光谱学材料科学分析化学（期刊）退火（玻璃）碳膜薄膜化学工程化学有机化学纳米技术光电子学工程类复合材料
网址	https://doi.org/10.1063/1.1618358
DOI	10.1063/1.1618358 doi
其它	期刊：Journal of Applied Physics 作者：A. Grill; Deborah A. Neumayer 出版日期：2003-11-07
求助人	hh 在 2026-01-26 18:48:47 发布自江西，悬赏 10 积分
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