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标题
Development of ALD precursors for low resistivity Zr, Hf, and Nb nitride films
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网址
http://dx.doi.org/10.1117/12.3010175
DOI
10.1117/12.3010175 doi
其它 期刊：
作者：Syeda Tasnia Sameen; Charles H. Winter
出版日期：2024-04-09
求助人
受伤的夏旋 在 2026-01-06 19:27:03 发布自江西，悬赏 20 积分
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