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标题
Practical inverse mask synthesis via data-efficient physics-informed neural networks (PINN) model
网址
https://doi.org/10.1117/12.3056774
DOI
10.1117/12.3056774 doi
其它 期刊：DTCO and Computational Patterning IV
作者：Kuan-Hsun Wang; Po-Hsun Fang; Peichen Yu
出版日期：2025-02-20
求助人
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