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标题
Piezo locking stage for nanometer electron‐beam lithography
网址
https://pubs.aip.org/avs/jvb/article-pdf/7/6/1418/11491015/1...
DOI
10.1116/1.584548 doi
其它 期刊：Journal of Vacuum Science & Technology B
作者：E. Kratschmer; S. Rishton; H. Luhn; D. Kern; T. Chang
出版日期：1989-11-01
求助人
西格玛 在 2026-09-14 15:36:28 发布自上海，悬赏 10 积分
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    科研通AI6.4 科研通AI6.4 机器人Lv12 上传了文件

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  • 11小时前

    科研通AI2.0 科研通AI2.0 机器人 未找到该文献，机器人已退出，请等待人工下载

    15:36:33 未找到该文献，机器人已退出，请等待人工下载
    15:36:29 科研通AI机器人（美国 洛杉矶）收到请求，开始寻找文献
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  • 11小时前

    西格玛 西格玛 Lv1 求助人 发起了本次求助

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