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标题
Linearized EUV mask optimization based on the adjoint method
网址
http://dx.doi.org/10.1364/oe.517783
DOI
10.1364/oe.517783 doi
其它 期刊：Optics Express
作者：Pinxuan He; Jiamin Liu; Honggang Gu; Hao Jiang; Shiyuan Liu
出版日期：2024-02-22
求助人
jun 在 2026-07-10 16:05:50 发布自安徽，悬赏 10 积分
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