Triple Synergistic Effect of Sodium Dodecyl Benzene Sulfonate and H2O2 on the Chemical Mechanical Polishing Performance of Ge - 科研通

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标题	Triple Synergistic Effect of Sodium Dodecyl Benzene Sulfonate and H2O2 on the Chemical Mechanical Polishing Performance of Ge
网址	https://iopscience.iop.org/article/10.1149/2162-8777/ade4fe
DOI	10.1149/2162-8777/ade4fe doi
其它	期刊：ECS Journal of Solid State Science and Technology 作者：Wanli Shi; Chong Luo; Yuhang Qi; Jian-Wei Zhou 出版日期：2025-06-16
求助人	lengye 在 2026-10-12 12:38:11 发布自天津，悬赏 10 积分
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