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标题
Study on elementary gas-phase reaction kinetics and chemical vapor deposition modeling from methyltrichlorosilane
网址
https://doi.org/10.1116/6.0004201
DOI
10.1116/6.0004201 doi
其它 期刊：Journal of vacuum science & technology
作者：Botao Song; Bing Gao; Sheng Liu
出版日期：2025-02-04
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