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  Ion energy distribution functions in a dual-frequency low-pressure capacitively-coupled plasma: experiments and particle-in-cell simulation 低压电容耦合等离子体的均匀性：实验和二维粒子内模拟
相关领域
物理
细胞内颗粒
等离子体
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10.1063/5.0178911
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期刊：Plasma Sources Science and Technology 作者：Jun-Chieh Wang; Peng Tian; Jason Kenney; Shahid Rauf; Ihor Korolov; et al 出版日期：2021-06-22 |
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