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Fully-relaxed n-AlGaN on AlN / Al2O3 templates using strain-relaxed super-lattice buffer layers 应变弛豫超晶格缓冲层在AlN/Al2O3模板上的全弛豫n-AlGaN
相关领域
材料科学
金属有机气相外延
位错
化学气相沉积
模板
结晶学
缓冲器(光纤)
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拉伤
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外延
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期刊:Materials Chemistry and Physics 作者:Hisashi Yamada 出版日期:2022-09-01 |
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