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 Microfabrication of 3D silicon MEMS structures using gray-scale lithography and deep reactive ion etching 基于灰度光刻和深度反应离子刻蚀的三维硅MEMS结构微加工
相关领域
深反应离子刻蚀
微加工
材料科学
薄脆饼
微电子机械系统
反应离子刻蚀
硅
表面微加工
干法蚀刻
蚀刻（微加工）
制作
平版印刷术
纳米技术
光电子学
医学
替代医学
图层（电子）
病理
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期刊：Sensors and Actuators A Physical 作者：Christopher M. Waits; Brian Morgan; Mark Kastantin; Reza Ghodssi 出版日期：2004-04-26 |
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