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  Determination of Stresses in Incrementally Deposited Films From Wafer-Curvature Measurements 通过晶片曲率测量确定增量沉积薄膜中的应力
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期刊：Journal of Applied Mechanics 作者：Zhaoxia Rao; Hanxun Jin; A. M. Engwall; Eric Chason; Kyung–Suk Kim 出版日期：2020-06-19 |
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