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[高分]
Surface topography and nanomechanical/tribological behaviour of ultrathin nitride films on silicon 硅上超薄氮化物薄膜的表面形貌和纳米力学/摩擦学行为
相关领域
摩擦学
氮化硅
材料科学
硅
纳米技术
氮化物
复合材料
冶金
图层(电子)
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期刊:Zeitschrift für Metallkunde 作者:Jerzy T. Wyrobek; K. Małyska; H. Wrzesińska; Z. Rymuza 出版日期:2004-05-01 |
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