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 ReaxFF studies of surface fluorination of alumina and etching of alumina/aluminum metal heterostructures under gas-phase hydrogen fluoride exposure 气相氟化氢暴露下氧化铝表面氟化和氧化铝/铝金属异质结构蚀刻的ReaxFF研究
相关领域
雷亚克夫
氢
异质结
氟化氢
材料科学
铝
氧化物
金属
吸附
化学工程
无机化学
催化作用
化学
物理化学
氢键
复合材料
分子
冶金
有机化学
工程类
光电子学
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期刊：The Journal of Chemical Physics 作者：Yuwei Zhang; Yun Kyung Shin; Adri C. T. van Duin 出版日期：2025-05-16 |
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