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Improving Surface Structures of Al-Doped Zinc Oxide Thin Films to Apply in CO Gas-Sensing Property by Designing Processes Through RF Magnetron Sputtering 射频磁控溅射工艺设计改善掺Al氧化锌薄膜表面结构以实现CO气敏性能
相关领域
溅射
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期刊:Journal of Electronic Materials 作者:Shao‐Hwa Hu; Yen-Sheng Lin; Shui‐Hsiang Su; Jingshi He; Ya‐Zhao Ai 出版日期:2024-03-02 |
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