Improving Surface Structures of Al-Doped Zinc Oxide Thin Films to Apply in CO Gas-Sensing Property by Designing Processes Through RF Magnetron Sputtering

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标题	Improving Surface Structures of Al-Doped Zinc Oxide Thin Films to Apply in CO Gas-Sensing Property by Designing Processes Through RF Magnetron Sputtering 射频磁控溅射工艺设计改善掺Al氧化锌薄膜表面结构以实现CO气敏性能相关领域溅射材料科学溅射沉积微观结构薄膜分析化学（期刊）结晶度一氧化碳锌光电子学纳米技术复合材料化学冶金生物化学催化作用色谱法
网址	https://doi.org/10.1007/s11664-024-10983-4
DOI	10.1007/s11664-024-10983-4 doi
其它	期刊：Journal of Electronic Materials 作者：Shao‐Hwa Hu; Yen-Sheng Lin; Shui‐Hsiang Su; Jingshi He; Ya‐Zhao Ai 出版日期：2024-03-02
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