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  Influence of ITO Target on Structural, Optical, and Electrical Properties of Thin Films Deposited by Magnetron Sputtering ITO靶对磁控溅射薄膜结构、光学和电学性能的影响
相关领域
材料科学
氧化铟锡
电阻率和电导率
溅射
溅射沉积
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光电子学
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薄膜
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期刊：Journal of Physics Conference Series 作者：Shumin Yang; Wei Zhang; Bin Xie; Mingyao Xiong 出版日期：2023-04-01 |
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