Influence of ITO Target on Structural, Optical, and Electrical Properties of Thin Films Deposited by Magnetron Sputtering

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标题	Influence of ITO Target on Structural, Optical, and Electrical Properties of Thin Films Deposited by Magnetron Sputtering ITO靶对磁控溅射薄膜结构、光学和电学性能的影响相关领域材料科学氧化铟锡电阻率和电导率溅射溅射沉积基质（水族馆）光电子学光电效应薄膜透射率纳米技术电气工程海洋学地质学工程类
网址	https://iopscience.iop.org/article/10.1088/1742-6596/2468/1/...
DOI	10.1088/1742-6596/2468/1/012005 doi
其它	期刊：Journal of Physics Conference Series 作者：Shumin Yang; Wei Zhang; Bin Xie; Mingyao Xiong 出版日期：2023-04-01
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