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![]() 基于刻蚀槽和超薄硅膜的高性能铌酸锂薄膜电光调制器
相关领域
铌酸锂
材料科学
光学
蚀刻(微加工)
光电子学
电光调制器
光调制器
薄膜
硅
相位调制
物理
纳米技术
相位噪声
图层(电子)
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期刊:Applied Optics 作者:Yi Wang; Yin Xu; Bo Zhang; Yue Dong; Yi Ni 出版日期:2023-02-24 |
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